3月20-22日（rì），SEMICON CHINA 2024在上海新（xīn）國際博覽中心盛大開幕。在這一全球半導體行業的年度盛會上，ASEL天芯微作為先導集成電（diàn）路產業園核心成（chéng）員，展示（shì）了最新的產品技術，吸引諸多（duō）海內外產業夥伴的關注。

減壓外延設備受關注，常壓設備首次公開亮相

天芯微是國內少數真（zhēn）正通過完全自主設計、研發、製造矽基外延（yán）設備的企業之一，本次展會中，旗下減壓外延設備Epi RP 300 Compass HP受到產業鏈上下遊的關注。該設備針對先進工藝製程的外（wài）延需求，應用於邏輯芯片、功率及存儲器件的外延（yán）工藝，適用於矽、矽鍺、矽磷等外（wài）延生長材料。目前已經獲得多家12寸FAB廠的青睞，整體性能媲美（měi）國際主流產（chǎn）品，並（bìng）在部分核心參數上領先。

作為天芯微Compass HP平台（tái）的第二款產品，矽基常壓外延設備Epi ATM 300 Compass HP也迎來了展會首秀。該設備繼承了Compass HP平台靈活調配生產配置的特（tè）性，憑借天芯（xīn）微自研的壓控（kòng）FRC技術及獨立多區進氣模組，帶來了更高效的（de）沉積速率和更（gèng）可觀的膜（mó）厚及均（jun1）一性。Epi ATM 300 Compass HP是適用於大矽片、功率器件和MEMS加工外延工藝的創新解決方案。

致力於（yú）半導體高端前道設備的設計與製造，天芯微圍繞“國產（chǎn）化”不斷（duàn）加（jiā）強供應鏈的建設管理。此次SEMICON CHINA，天芯微邀請了諸多海內外零部件（jiàn）供應商夥（huǒ）伴（bàn）交流探討，攜手（shǒu）建立可持續，共發展的供應商體係，持續（xù）推動中國半導體設備的發展和升級。