8月8日（rì）上午天芯微半導體首（shǒu）台（tái）先（xiān）進製程矽基（jī）外延設備首發儀式（shì）在高新區舉行

副市（shì）長周文棟，高新區黨工委副書記、管委會副主任、新吳區委副書記、區長章金偉，區領導洪延煒、華豔（yàn）紅，無錫先導智能裝備股份有限公司董事長、先導集團董事長王燕清出席活動並共同啟動首發儀式。

（章金偉在致辭中表示）

集成電路是高新區的優勢產業，產業規模突（tū）破了千億大關。先導集團（tuán）作為裝備製造和服（fú）務的（de）龍頭企業，正在加快布局集成電路高端設備、關鍵材料。先導集成電（diàn）路裝備與材（cái）料產業（yè）園（yuán）是高新區集成電路產業“5+X”新格局的重要環節，孵化出了天芯微等一批集成電路行業（yè）明星企業。天芯微自成（chéng）立以來，立足自主研發，全力攻克各項技（jì）術難題（tí），產（chǎn）品（pǐn）達到國（guó）際先進水平，部分核（hé）心性能已經超過國際同類產品，取得了重大（dà）突破。高新區將堅定不移實施（shī）創新驅動核心戰略（luè），進一步集成政策、優化服務、豐富生態，助推全區各類企業（yè）做大做強，加速打（dǎ）造國內一流、國際知名“6+2+X”現代產業（yè）體係，一如（rú）既往秉承“尊商、親商、安商、富商”理念，為企業發展提供最有力的支持、最高效的服（fú）務、最全麵的保障（zhàng），攜手譜寫合作共贏新篇章。

（王燕清表示）

全（quán）球貿易市場、製造業領域風雲變幻，半導體核心裝備和材料的研發、製造尤為不易（yì），在無錫（xī）市、無錫高新區的關心和支（zhī）持下，先導集成（chéng）電路裝備和材料（liào）產業園已先後投資孵化（huà）了（le）天芯微、微導納（nà）米、先為科技、元夫半（bàn）導體、吳越半導體等一大批優質企業，其（qí）中微導納米於本月率（lǜ）先成功過會。目前，園（yuán）區（qū）已經引進了20多個半導（dǎo）體高端技術研發團隊、150名以上核心科學家和博士隊伍以及數千名高級（jí）應用人才，助（zhù）力產業提升。

江蘇天芯微半導體設（shè）備有限公司是先導集團旗下（xià）的一家集成電路高端裝（zhuāng）備製造商，公（gōng）司核心團隊來自全球領（lǐng）先的（de）半導體設備公司（sī），擁（yōng）有30年的先進半導體裝備研（yán）發、製造經驗。公司（sī）以矽基外延技術為核（hé）心，致力於半導體前道（dào）關鍵工藝設備的研發與製造，為集成電路行業提供極具競爭力的高端設備和高品質的服務。

為了解決客戶痛點，滿足客戶需求，天芯微決定在高新區實施半導體外延設備產業化項目（mù），立誌於突破國際半導體設備巨頭在該領域的（de）技術壁壘，保障業內（nèi）先進芯片生產製造。

天芯微此次發布的Epi 300 Compass RP矽（guī）基外延減壓設備（bèi）是半導體（tǐ）前道（dào）工藝中的關鍵設備，廣泛應用於（yú）功率器件、先進製（zhì）程的邏輯、存（cún）儲器（qì）件的生產製（zhì）造。Epi 300 Compass RP的各項（xiàng）性能均達到了國際先進水平，部分核心性能已（yǐ）經超過國際同類產品（pǐn），並得到了客戶的肯定。